Optická charakterizace diamantu podobných uhlíkových tenkých vrstev neuniformních v tloušťce pomocí spektroskopické reflektometrie.

Optical characterization of diamond-like carbon thin films non-uniform in thickness using spectroscopic reflectometry

článek v časopise ve Web of Science, Jimp

en

Two formulae expressing the reflectance of non-uniform thin films are presented. The first of them corresponds to the arbitrary shapes of this non-uniformity and illuminated light spot under the assumption that this non-uniformity is sufficiently slight. The second formula corresponds to the wedge-shaped non-uniformity of arbitrary magnitude within the circular light spot. It is shown that both the formulae are suitable for the successful optical characterization of non-uniform diamond-like carbon (DLC) thin films in contrast to the usually used reflectance formula for the uniform thin films. Within the optical characterization the values of the standard deviation of non-uniformity is determined together with the correct values of the mean thickness and material parameters corresponding to the dispersion model based on the parametrization of the density of electronic states. On the basis of the material parameters determined the correct spectral dependences of the optical constants of the DLC films studied are calculated

Jsou prezentovány dva výrazy pro odrazivost neuniformních tenkých vrstev. První z nich odpovídá libovolnému tvaru této neuniformity a ozářené stopy povrchu za předpokladu, že tato neuniformita je dostatečně malá. Druhý výraz odpovídá klínovité nenuniformitě libovolné velikosti a kruhové světelné stopě. Je ukázáno, že oba výrazy jsou vhodné pro úspěšnou optickou charakterizaci diamantu podobných uhlíkových (DLC) tenkých vrstev na rozdíl od obvykle užívaných výrazů pro uniformní tenké vrstvy. V rámci tét optické charakterizace jsou určeny hodnoty standardní odchylky této neuniformity, střední tloušťky a materiálových parametrů, které odpovídají disperznímu modelu založenému na parametrizaci hustoty elektronových stavů. Z určených materiálových parametrů jsou vypočteny správné spektrální závislosti optických konstant studovaných DLC vrstev.

Two formulae expressing the reflectance of non-uniform thin films are presented. The first of them corresponds to the arbitrary shapes of this non-uniformity and illuminated light spot under the assumption that this non-uniformity is sufficiently slight. The second formula corresponds to the wedge-shaped non-uniformity of arbitrary magnitude within the circular light spot. It is shown that both the formulae are suitable for the successful optical characterization of non-uniform diamond-like carbon (DLC) thin films in contrast to the usually used reflectance formula for the uniform thin films. Within the optical characterization the values of the standard deviation of non-uniformity is determined together with the correct values of the mean thickness and material parameters corresponding to the dispersion model based on the parametrization of the density of electronic states. On the basis of the material parameters determined the correct spectral dependences of the optical constants of the DLC films studied are calculated

Konstanty, disperze

CONSTANTS; DISPERSION

2008

30.04.2008

Elsevier

Lausanne

0925-9635

Diamond and Related Materials

17

4,5

709–712

4