Detail publikace

In-situ analýza PMPSi pomocí spektroskopické elipsometrie a XPS

ČECHAL, J. TICHOPÁDEK, P. NEBOJSA, A. BONAVENTUROVÁ, O. URBÁNEK, M. SPOUSTA, J. NAVRÁTIL, K. ŠIKOLA, T.

Český název

In-situ analýza PMPSi pomocí spektroskopické elipsometrie a XPS

Anglický název

In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

en

Originální abstrakt

Paper deals with an in situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

Český abstrakt

Článek se zabývá in-situ analýzou PMPSi pomocí spektroskopické elipsometrie a XPS

Anglický abstrakt

Paper deals with an in situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

Klíčová slova anglicky

PMPSi, optical degradation. spectroscopic ellipsometry, XPS

Rok RIV

2004

Vydáno

01.01.2004

ISSN

0142-2421

Časopis

Surface and Interface Analysis

Ročník

38

Číslo

8

Počet stran

4

BIBTEX


@article{BUT42361,
  author="Jan {Čechal} and Petr {Tichopádek} and Alois {Nebojsa} and Olga {Bonaventurová} and Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Tomáš {Šikola},
  title="In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS",
  journal="Surface and Interface Analysis",
  year="2004",
  volume="38",
  number="8",
  month="January",
  issn="0142-2421"
}