Detail publikace
Zařízení pro diagnostiku tenkých vrstev pomocí UV spektroskopické reflektometrie
URBÁNEK, M. SPOUSTA, J. NAVRÁTIL, K. SZOTKOWSKI, R. CHMELÍK, R. BUČEK, M. ŠIKOLA, T.
Český název
Zařízení pro diagnostiku tenkých vrstev pomocí UV spektroskopické reflektometrie
Anglický název
Instrument for thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry
Typ
článek v časopise - ostatní, Jost
Jazyk
en
Originální abstrakt
Paper presents an instrument for thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry
Český abstrakt
Článek představuje zařízení pro diagnostiku tenkých vrstev pomocí UV spektroskopické reflektometrie
Anglický abstrakt
Paper presents an instrument for thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry
Klíčová slova anglicky
reflectometry, thin films
Rok RIV
2004
Vydáno
01.01.2004
ISSN
0142-2421
Časopis
Surface and Interface Analysis
Ročník
36
Číslo
8
Počet stran
4
BIBTEX
@article{BUT42362,
author="Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Robert {Szotkowski} and Radim {Chmelík} and Miroslav {Buček} and Tomáš {Šikola},
title="Instrument for thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry",
journal="Surface and Interface Analysis",
year="2004",
volume="36",
number="8",
month="January",
issn="0142-2421"
}