Detail publikace
In situ analýza tenkých vrstev PMPSi pomocí spektroskopické elipsometrie
BRANDEJSOVÁ, E. ČECHAL, J. BONAVENTUROVÁ, O. NEBOJSA, A. TICHOPÁDEK, P. URBÁNEK, M. NAVRÁTIL, K. ŠIKOLA, T. HUMLÍČEK, J.
Český název
In situ analýza tenkých vrstev PMPSi pomocí spektroskopické elipsometrie
Anglický název
In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry
Typ
článek v časopise - ostatní, Jost
Jazyk
en
Originální abstrakt
Paper deals with an in situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry
Český abstrakt
článek se zabývá in situ analýzou tenkých vrstev PMPSi pomocí spektroskopické elipsometrie
Anglický abstrakt
Paper deals with an in situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry
Klíčová slova anglicky
Ellipsometry, PMPSi, optical degradation
Rok RIV
2004
Vydáno
01.01.2004
ISSN
0447-6441
Časopis
Jemná mechanika a optika
Ročník
9
Číslo
9
Počet stran
3
BIBTEX
@article{BUT42364,
author="Eva {Kolíbalová} and Jan {Čechal} and Olga {Bonaventurová} and Alois {Nebojsa} and Petr {Tichopádek} and Michal {Urbánek} and Karel {Navrátil} and Tomáš {Šikola} and Josef {Humlíček},
title="In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry",
journal="Jemná mechanika a optika",
year="2004",
volume="9",
number="9",
month="January",
issn="0447-6441"
}