Detail publikace

Aplikace spektroskopické zobrazovací reflektometrie pro analýzu plošně neuniformních diamantu podobných uhlíkových vrstev

OHLÍDAL, M. OHLÍDAL, I. KLAPETEK, P. NEČAS, D. BURŠÍKOVÁ, V.

Český název

Aplikace spektroskopické zobrazovací reflektometrie pro analýzu plošně neuniformních diamantu podobných uhlíkových vrstev

Anglický název

Application of spectroscopic imaging reflectometry to analysis of area non-uniformity in diamond-like carbon films

Typ

článek v časopise ve Web of Science, Jimp

Jazyk

en

Originální abstrakt

Complete optical characterization of diamond-like carbon films non-uniform in thickness is performed usig spectroscopic imaging reflectometry. It is shown that by using this technique it is possible to determine the distributions of the refractive index, extinction coefficient and thickness (with arbitrary shape of the thickness non-uniformity) of these films.

Český abstrakt

Pomocí spektroskopické zobrazovací reflektometrie je provedena úplná optická charakterizace diamantu podobných vrstev, které jsou neuniformní v tloušťce. Je ukázáno, že touto technikou lze určit rozdělení indexu lomu, extinkčního koeficientu a tloušťky (pro obecný tvar neuniformity v tloušťce) daných vrstev.

Anglický abstrakt

Complete optical characterization of diamond-like carbon films non-uniform in thickness is performed usig spectroscopic imaging reflectometry. It is shown that by using this technique it is possible to determine the distributions of the refractive index, extinction coefficient and thickness (with arbitrary shape of the thickness non-uniformity) of these films.

Klíčová slova česky

spektroskopická zobrazovací reflektometrie, diamantu podobné uhlíkové vrstvy, optická analýza

Klíčová slova anglicky

spectroscopic imaging reflectometry, diamond-like carbon films, optical analysis

Rok RIV

2009

Vydáno

31.01.2009

Nakladatel

Elsevier

Místo

LAUSANNE

ISSN

0925-9635

Časopis

Diamond and Related Materials

Ročník

2009 (18)

Číslo

1

Strany od–do

384–387

Počet stran

4

BIBTEX


@article{BUT48065,
  author="Miloslav {Ohlídal} and Ivan {Ohlídal} and Petr {Klapetek} and David {Nečas} and Vilma {Buršíková},
  title="Application of spectroscopic imaging reflectometry to analysis of area non-uniformity in diamond-like carbon films",
  journal="Diamond and Related Materials",
  year="2009",
  volume="2009 (18)",
  number="1",
  month="January",
  pages="384--387",
  publisher="Elsevier",
  address="LAUSANNE",
  issn="0925-9635"
}