Detail publikace

Řízený růst kobaltových ostrůvků na křemíkovém substrátu

ČECHAL, J. POLČÁK, J. TOMANEC, O. ŠIKOLA, T.

Český název

Řízený růst kobaltových ostrůvků na křemíkovém substrátu

Anglický název

Guided growth of cobalt islands on silicon substrate.

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

cs

Originální abstrakt

V článku je nastíněn způsob přípravy uspořádaných souborů kobaltových ostrůvků na povrchu oxidu křemičitého. Litografie fokusovaným iontovým svazkem byla použita k vytvoření míst, na kterých dochází k preferenční nukleaci ostrůvků. Tímto způsobem můžeme vytvořit soubory ostrůvků o dané velikosti a poloze.

Český abstrakt

V článku je nastíněn způsob přípravy uspořádaných souborů kobaltových ostrůvků na povrchu oxidu křemičitého. Litografie fokusovaným iontovým svazkem byla použita k vytvoření míst, na kterých dochází k preferenční nukleaci ostrůvků. Tímto způsobem můžeme vytvořit soubory ostrůvků o dané velikosti a poloze.

Anglický abstrakt

We have presented a straightforward method for fabrication of patterns of cobalt islands. The focussed ion beam lithography has been used to locally modify a native SiO2 layer on a silicon substrate. On the modified areas preferential nucleation of cobalt islands is observed due to a reduced surface diffusion of Co atoms in the vicinity of FIB modified areas. Using this method ordered arrays of islands with given size and positions may be prepared.

Klíčová slova česky

Tenké vrstvy; Nukleace; Řízený růst; Fokusovaný iontový svazek; SiO2; Kobalt

Klíčová slova anglicky

Thin films; Nucleation; Guided growth; Focussed ion beam SiO2; Cobalt

Rok RIV

2009

Vydáno

01.09.2009

ISSN

0447-6441

Časopis

Jemná mechanika a optika

Ročník

54

Číslo

7-8

Strany od–do

222–224

Počet stran

3

BIBTEX


@article{BUT48784,
  author="Jan {Čechal} and Josef {Polčák} and Ondřej {Tomanec} and Tomáš {Šikola},
  title="Řízený růst kobaltových ostrůvků na křemíkovém substrátu",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2009",
  volume="54",
  number="7-8",
  month="September",
  pages="222--224",
  issn="0447-6441"
}