Detail publikace
Aplikace zobrazovací spoktroskopické reflektometrie k analýze plošné neuniformity diamantu podobných uhlíkových vrstev
OHLÍDAL, M. OHLÍDAL, I. KLAPETEK, P. FRANTA, D.
Český název
Aplikace zobrazovací spoktroskopické reflektometrie k analýze plošné neuniformity diamantu podobných uhlíkových vrstev
Anglický název
Application of imaging spectroscopic reflectometry to analysis of area non-uniformity of diamond-like carbon films
Typ
abstrakt
Jazyk
en
Originální abstrakt
An novel efficient method enabling us to perform the complete optical analysis of diamond-like carbon thin films exhibiting area non-uniformity in optical parameters is presented.
Český abstrakt
Je presentována nová účinná metoda umožňující kompletní optickou analýzu diamantu podobných uhlíkových vrstev vykazujících plošnou neuniformitu v optických parametrech
Anglický abstrakt
An novel efficient method enabling us to perform the complete optical analysis of diamond-like carbon thin films exhibiting area non-uniformity in optical parameters is presented.
Klíčová slova česky
Optické přístroje, DLC vrstvy, optická neuniformita
Klíčová slova anglicky
Optical instrumentation, DLC films, optical non-uniformity
Vydáno
26.05.2008
Nakladatel
Academia Sinica, Taiwan
Místo
Taipei
Strany od–do
422–422
Počet stran
1