Detail publikace

Diagnostika a optimalizace paametrů iontového zdroje.

VOBORNÝ, S. ŠIKOLA, T. PRŮŠA, S. ZLÁMAL, J. BÁBOR, P.

Český název

Diagnostika a optimalizace paametrů iontového zdroje.

Anglický název

Diagnostics and optimization of ion source parameters

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

en

Originální abstrakt

This contribution deals with diagnostics and consequent optimization of plasmatic ion source. Ion-beam current density and ion current loss measurements are determined with the attempt of improving ion-beam transportation characteristics.

Český abstrakt

Příspěvek se zabývá diagnostikou a následnou optimalizací iontového zdroje.

Anglický abstrakt

This contribution deals with diagnostics and consequent optimization of plasmatic ion source. Ion-beam current density and ion current loss measurements are determined with the attempt of improving ion-beam transportation characteristics.

Klíčová slova anglicky

ion source, optimization, thin film deposition

Rok RIV

2002

Vydáno

15.11.2001

Nakladatel

FEI VUT v Brně

Místo

Brno

ISBN

80-214-1992-X

Kniha

Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice

Počet stran

6

BIBTEX


@inproceedings{BUT6510,
  author="Stanislav {Voborný} and Tomáš {Šikola} and Stanislav {Průša} and Jakub {Zlámal} and Petr {Bábor},
  title="Diagnostics and optimization of ion source parameters",
  booktitle="Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice",
  year="2001",
  month="November",
  publisher="FEI VUT v Brně",
  address="Brno",
  isbn="80-214-1992-X"
}